在生產(chǎn)中，人們常把對(duì)靜電反應(yīng)敏感的電子器件稱為靜電敏感器件(Static，Sensitive Device簡(jiǎn)稱SSD)，這類電子器件主要是指超大規(guī)模集成電路，特別是金屬氧化膜半導(dǎo)體(MOS)器件。

1.靜電敏感器件及其分類

各種SSD能承受的靜電能力與器件的尺寸、結(jié)構(gòu)和材料有關(guān)。表列出了部分SSD器件能承受而不致?lián)p壞的靜電的極限電壓值，此極限電壓值，有時(shí)稱為靜電敏感度。

2.靜電敏感器件的分類

SSD的分級(jí)方法有多種，現(xiàn)介紹國(guó)家**標(biāo)準(zhǔn)?電子產(chǎn)品防靜電放電控制大綱?的分級(jí)方法。靜電敏感度介于0～1990V的元器件為1級(jí)；介于2000～3999V的元器件為2級(jí)；介于4000～15999v的為3級(jí)；靜電敏感度為16000V或16000v以上的元器件、組件和設(shè)備被認(rèn)為是非靜電敏感產(chǎn)品。表是按元器件類型列出的SSD的分級(jí)表。

因此，可以根據(jù)SSD的分級(jí)表，針對(duì)不同的SSD器件，采取不同的靜電防護(hù)措施。

敏感元件與傳感器行業(yè)十年回顧與展望

一、回顧

敏感元件與傳感器行業(yè)經(jīng)過十年的風(fēng)風(fēng)雨雨，正在逐步走向成熟與壯大。主要標(biāo)志是： 提高綜合實(shí)力 經(jīng)過十年的發(fā)展，全行業(yè)的科研生產(chǎn)單位近1300家，居世界弟二位。其中：生產(chǎn)廠家占58.9％，科研單位占27％，高等院校占10％，其他占4.1％。擁有職工總?cè)藬?shù)約4.2萬人，固定資產(chǎn)總額5億多元，引進(jìn)50多條生產(chǎn)線與專用設(shè)備，新增固定資產(chǎn)近3億元。 拓寬開發(fā)領(lǐng)域 目前，全行業(yè)研究開發(fā)領(lǐng)域由單一的品種擴(kuò)展到有光敏、熱敏、力敏、電壓敏、磁敏、氣敏、濕敏、聲敏、射線敏、離子敏、生物敏以及各種傳感器、變送器、二次儀表等多種類、多形式，與國(guó)外研制領(lǐng)域相當(dāng)。 通過"七五""八五"《傳感器技術(shù)研究》國(guó)家重點(diǎn)科技攻關(guān)，形成了近40個(gè)院校、研究所的科技攻關(guān)骨干隊(duì)伍。"七五"研究開發(fā)基型品種76個(gè)，共計(jì)取得了103項(xiàng)科研成果；"八五"又新增基型品種100多個(gè)。 加強(qiáng)基礎(chǔ)研究 完成基礎(chǔ)應(yīng)用研究課題幾十項(xiàng)，新品試制課題200余項(xiàng)。其中：低壓**壓力傳感器、三維加速度傳感器、高響應(yīng)過載傳感器、超小型鉑薄膜熱敏電阻器等新品，不但滿足了國(guó)防重點(diǎn)工程的配套需要，且均達(dá)到了國(guó)際80年代末先進(jìn)水平。 擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模 十年前，敏感元件與傳感器生產(chǎn)廠家因設(shè)備落后，多以作坊式的手工操作為主，質(zhì)與量均滿足不了需求。經(jīng)過近十年的引進(jìn)、消化、吸收，現(xiàn)已形成一定規(guī)模的生產(chǎn)能力，其主要產(chǎn)品有：NTC熱敏電阻器、PTC熱敏電阻器、ZnO壓敏電阻器；批量生產(chǎn)的產(chǎn)品有：可燃性氣體傳感器、光電二極管、應(yīng)變計(jì)、差壓變送器等；小批量生產(chǎn)的產(chǎn)品有：壓力傳感器、霍爾元件、霍爾集成電路、高分子濕敏元件、稱重傳感器等。 上述表明：敏感元件與傳感器行業(yè)經(jīng)過領(lǐng)導(dǎo)與同行的共同努力，已邁出了可喜的一步。國(guó)內(nèi)敏感元件與傳感器產(chǎn)品生產(chǎn)能力已超過４億只，總產(chǎn)量約1.5億只，總產(chǎn)值約4億元，總銷售額3億元左右。 但是，與發(fā)達(dá)國(guó)家相比還有很大差距，主要表現(xiàn)在產(chǎn)品的質(zhì)量、生產(chǎn)規(guī)模、市場(chǎng)開發(fā)、銷售等方面。我國(guó)敏感元件與傳感器的科研開發(fā)水平約落后發(fā)達(dá)國(guó)家5～10年；生產(chǎn)技術(shù)約落后10～15年。

二、發(fā)展目標(biāo)

"九五"規(guī)劃制定的總目標(biāo)是：大幅度增強(qiáng)我國(guó)傳感器研制和生產(chǎn)的綜合實(shí)力，建立敏感元件與傳感器高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，跟蹤國(guó)際上發(fā)展的前沿技術(shù)，加強(qiáng)預(yù)研，突破關(guān)鍵技術(shù)，使產(chǎn)品質(zhì)量、價(jià)格達(dá)到或接近國(guó)際同類產(chǎn)品水平，滿足"四化"建設(shè)的需求。

以工業(yè)自動(dòng)化系統(tǒng)、機(jī)電一體化、科學(xué)試驗(yàn)儀器以及國(guó)民經(jīng)濟(jì)建設(shè)中量大面廣的傳感器產(chǎn)品為服務(wù)方向，以國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)為導(dǎo)向，研究傳感器的共性基礎(chǔ)技術(shù)、中間試驗(yàn)技術(shù)、生產(chǎn)裝備技術(shù)，以提高敏感元件與傳感器的技術(shù)水平為重點(diǎn)，跟蹤世界高新技術(shù)，使我國(guó)敏感元件及傳感器的研究、開發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、測(cè)試、質(zhì)量及應(yīng)用水平提高到國(guó)際90年代水平。

建立以熱敏、電壓敏、磁敏為主體，相應(yīng)實(shí)現(xiàn)力敏、光敏、氣敏、濕敏的批量生產(chǎn)等七大類的敏感元件與傳感器高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，擁有15億只生產(chǎn)能力，產(chǎn)量10億只。

三、發(fā)展趨勢(shì)

敏感元件與傳感器發(fā)展的總趨勢(shì)是集成化、多功能化、智能化和系統(tǒng)化。傳感器領(lǐng)域的主要技術(shù)正在現(xiàn)有基礎(chǔ)上予以延伸和提高，加速新一代傳感器的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。待到2l世紀(jì)初，微電子技術(shù)，大規(guī)模集成電路技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)將達(dá)到成熟期，光電子技術(shù)將進(jìn)入發(fā)展的中期，超導(dǎo)電子等新技術(shù)將進(jìn)入發(fā)展的初期，均為加速研制新一代傳感器提供了發(fā)展的條件?？梢灶A(yù)期：

MEMT技術(shù)將高速發(fā)展，成為新一代微傳感器、微系統(tǒng)的核心技術(shù)，是2l世紀(jì)傳感器技術(shù)領(lǐng)域中帶有**性變化的高新技術(shù)。它不僅可以制成簡(jiǎn)單的三維結(jié)構(gòu)，而且可以做成三維運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)與復(fù)雜的力平衡結(jié)構(gòu)。采用MEMT技術(shù)形成的微傳感器和微系統(tǒng)，具有劃時(shí)代微小體積、低成本、高可靠等獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)。例如，－個(gè)壓力成像器的微系統(tǒng)，含有1024個(gè)微型壓力傳感器，傳感器之間的距離為250m m，每個(gè)壓力膜片尺寸為50m m′ 50m m，整個(gè)膜片尺寸僅為10mm′ l0mm。預(yù)計(jì)，由微傳感器、微執(zhí)行器以及信號(hào)和數(shù)據(jù)處理裝置總裝集成的微系統(tǒng)將進(jìn)入商業(yè)市場(chǎng)。

新型敏感材料將加速開發(fā)，微電子、光電子、生物化學(xué)、信息處理等各種學(xué)科，各種新技術(shù)的互相滲透和綜合利用，可望研制出一批先進(jìn)傳感器。

傳感器應(yīng)用領(lǐng)域得到新的拓展，二次傳感器和傳感器系統(tǒng)的比例大幅度增長(zhǎng)，預(yù)計(jì)2000年后，集成化、智能化傳感器與變送器將會(huì)呈現(xiàn)暢銷勢(shì)頭。 進(jìn)入21世紀(jì)，世界傳感器市場(chǎng)將迅速發(fā)展。由1993年的130億美元，發(fā)展到2000年后，市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)343億美元。其中，以半導(dǎo)體傳感器為主流的各類固態(tài)傳感器增長(zhǎng)幅度很大，年增長(zhǎng)率高達(dá)20％以上；微傳感器、微執(zhí)行器約占總市場(chǎng)的40％。 2010年，我國(guó)敏感元件與傳感器的科研生產(chǎn)綜合實(shí)力將得到大幅度增強(qiáng)，傳感器的總體研究水平將達(dá)到國(guó)際21世紀(jì)初水平，與國(guó)外差距縮短為3～5年。專家認(rèn)為，我國(guó)的化學(xué)傳感器、光纖傳感器、生物傳感器可望取得更快的發(fā)展。生產(chǎn)水平將達(dá)到國(guó)際上90年代中、末期水平。品種將達(dá)l萬種，建成具有較強(qiáng)綜合實(shí)力與競(jìng)爭(zhēng)能力的敏感元件與傳感器高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。