新近的行業(yè)發(fā)展說(shuō)明，在測(cè)量半導(dǎo)體的結(jié)構(gòu)元件時(shí)，由于結(jié)構(gòu)元件的不斷減小，使測(cè)量和污染物控制的關(guān)系越來(lái)越緊密。
Therma-Wave有限公司已經(jīng)開始大量生產(chǎn)一種薄膜式的關(guān)鍵尺寸測(cè)量工具，它將公司分子污染物清潔系統(tǒng)進(jìn)行了改良，并做成了內(nèi)置式的。這個(gè)具有解吸作用的裝置，能**晶片表面聚集的分子污染物，從而可以對(duì)薄膜進(jìn)行測(cè)量。
KLA-Tencor公司生產(chǎn)的光學(xué)薄膜式測(cè)量產(chǎn)品中有解吸作用的模塊。據(jù)KLA-Tencor公司的技術(shù)專家Arun Srivatsa介紹，這個(gè)模塊通常用來(lái)清潔、測(cè)量目標(biāo)，并在使用劃線器劃線的測(cè)量目標(biāo)上進(jìn)行可選測(cè)量。他補(bǔ)充說(shuō)明到，這項(xiàng)技術(shù)是將晶片表面的一小塊區(qū)域加熱，從而使得有機(jī)物蒸發(fā)，這在65納米及以下的生產(chǎn)工藝中，測(cè)量柵氧化層和其他超薄薄膜時(shí)具有很高的利用價(jià)值。
這些薄膜的厚度小于50埃（牛 5納米。KLA-Tencor公司的研究表明：柵氧化層形成后的兩個(gè)小時(shí)內(nèi)，空氣分子污染物的聚集可能超過(guò)0.5埃。這足以導(dǎo)致薄膜光學(xué)測(cè)量的失敗，因?yàn)槭种话５恼`差就將導(dǎo)致測(cè)量工具顯示錯(cuò)誤的結(jié)論。
所以，量具公司必須引進(jìn)一種叫“使用點(diǎn)”的污染物清潔控制。只有先除去污染物后進(jìn)行測(cè)量，才能保證得到正確的結(jié)果。
濟(jì)近，Xidex公司表示他的納米碳管將應(yīng)用在半導(dǎo)體測(cè)量工具上。該行業(yè)想使用納米碳管制造掃描式探針顯微鏡的**。這些**像微型探針一樣運(yùn)動(dòng)，可以描繪出分